Dušikov trifluorid (NF3) plin visoke čistoće
Osnovne informacije
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Što je ovaj materijal?
Dušikov trifluorid (NF3) je plin bez boje i mirisa na sobnoj temperaturi i atmosferskom tlaku. Može se ukapiti pod umjerenim pritiskom. NF3 je stabilan u normalnim uvjetima i ne raspada se lako. Međutim, može se razgraditi ako je izložen visokim temperaturama ili u prisutnosti određenih katalizatora. NF3 ima visok potencijal globalnog zagrijavanja (GWP) kada se ispusti u atmosferu.
Gdje koristiti ovaj materijal?
Sredstvo za čišćenje u elektroničkoj industriji: NF3 se naširoko koristi kao sredstvo za čišćenje za uklanjanje zaostalih kontaminanata, kao što su oksidi, s površina poluvodiča, ploča plazma zaslona (PDP) i drugih elektroničkih komponenti. Može učinkovito očistiti te površine bez da ih ošteti.
Plin za jetkanje u proizvodnji poluvodiča: NF3 se koristi kao plin za jetkanje u procesu proizvodnje poluvodiča. Osobito je učinkovit u jetkanju silicij dioksida (SiO2) i silicij nitrida (Si3N4), koji su uobičajeni materijali koji se koriste u proizvodnji integriranih krugova.
Proizvodnja spojeva fluora visoke čistoće: NF3 je vrijedan izvor fluora za proizvodnju raznih spojeva koji sadrže fluor. Koristi se kao prekursor u proizvodnji fluoropolimera, fluorougljika i posebnih kemikalija.
Proizvodnja plazme u proizvodnji ravnih zaslona: NF3 se koristi zajedno s drugim plinovima za stvaranje plazme u proizvodnji ravnih zaslona, kao što su zasloni s tekućim kristalima (LCD) i PDP-ovi. Plazma je ključna u procesima taloženja i jetkanja tijekom izrade ploča.
Imajte na umu da se specifične primjene i propisi za korištenje ovog materijala/proizvoda mogu razlikovati ovisno o zemlji, industriji i namjeni. Uvijek slijedite sigurnosne smjernice i posavjetujte se sa stručnjakom prije korištenja ovog materijala/proizvoda u bilo kojoj primjeni.
